Thermocouple BF multipoint principal

Le four à diffusion d'oxydation est un équipement de processus clé pour la production de cellules PV. Il mélange et diffuse des traces de traces de bore, de phosphore et d'autres éléments sur la tranche de silicium à des températures élevées pour préparer des jonctions PN et compose des circuits intégrés à partir de celui-ci.

Description des produits

Il est courant d'utiliser des thermocouples mesurant les parties intérieures et extérieures du four pour contrôler la température intérieure de la fournaise de diffusion qui pourrait effectuer le processus d'oxydation. Chaque zone de température spécifiée a un thermocouple extérieur et intérieur pour s'assurer que les résultats de mesure sont fiables. Les thermocouples intérieurs sont utilisés pour mesurer la température de la tranche, il a généralement 3 ~ 9 points de mesure, représentant la température de la tranche avec précision. Les thermocouples externes sont utilisés pour détecter la surface extérieure du tube de la fournaise, chacun n'a généralement qu'une seule paire de fils, pour donner une mesure indirecte de la fournaise. Habituellement, la température du processus d'oxydation est inférieure à celle du processus de diffusion, donc, le thermocouple BF multipoint principal de type K et N pourrait être déployé.

Paramètres techniques	Thermocouple BF multipoint principal
Paramètres techniques	À l'intérieur
Taper	K,N
Diamètre de fil ou de mim	φ2~4
Température de travail (degré)	0~950
Précision (degré)	± 1,5 ou 0. 4% · t
Longueur de tube protecteur (mm)	Moins ou égal à 4000
Diamètre de tube protecteur (mm)	φ14~22
Matériau de tube de protection	310S ou 321
Structure extrémiste chaude	Isolé
Nombre de points	3 ~ 9 points
Terminaison	Petit connecteur
Fil de compensation	Kx (nx) {{0}} × 0,5fpf
Caractéristiques de la structure	Facile à démonter, T / C pour n'importe quel point peut être supprimé si nécessaire