Thermocouple de profil semi-conducteur

Le four à diffusion d'oxydation est un équipement de processus clé pour la production de cellules PV. Il mélange et diffuse des traces de traces de bore, de phosphore et d'autres éléments sur la tranche de silicium à des températures élevées pour préparer des jonctions PN et compose des circuits intégrés à partir de celui-ci. Il peut également être utilisé pour préparer des films Siox à la surface de la tranche de silicium pour protéger les plaquettes. Chaque zone de température spécifiée a un thermocouple extérieur et intérieur pour s'assurer que les résultats de mesure sont fiables. Les thermocouples en quartz métallique noble multipoint sont utilisés pour mesurer la température de la plaquette, il a généralement 3 ~ 9 points de mesure, représentant la température de la plaquette avec précision.

À cette fin, Duchin a développé des techniques et des produits propriétaires tels que le thermocouple de quartz en métal noble multipoint pour la mesure de la température de la section entière dans le four à diffusion, un dispositif d'étalonnage pour le thermocouple multi-points.

Le produit a des traits de mesure de la température fiable, de haute précision, d'une bonne stabilité, d'une réponse thermique rapide, d'une anti-ingérence, d'une résistance à l'impact haute et à basse température, d'une durée de vie à long terme, etc. Les paramètres techniques du thermocouple de profil semi-conducteur sont les suivants:

Soudage manuel

Soudage automatique

Tests d'isolation

Marquage laser

Gestion de l'entrepôt

Thermocouple assembler

Détection de fuite de vide

Polissage de surface

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